Magnetron Spatting prevleka

Magnetron Spatting prevlečen stroj je plazemska tehnologija brizganja, ki jo nadzira magnetno polje. Delovno načelo naprave za brizganje magnetrona je uporaba magnetnega polja za nadzor napolnjenih delcev v plazmi, tako da na površini cilja proizvaja plazmo visoke gostote, da bi dosegli učinkovit postopek razprševanja. Magnetron Sputtering prevleka v glavnem vključuje vakuumsko komoro, ciljni material, substrat, sistem magnetnega polja, sistem za oskrbo s plinom in sistem za napajanje. V procesu brizganja se vakuumska komora najprej črpa v visoko vakuumsko stanje, nato pa se vbrizga inertni plin (kot je argon). V okviru električnega polja je argonski plin ioniziran v argonske ione in elektrone. Argonski ion bombardira površino cilja pod pospeševanjem električnega polja, zaradi česar so ciljni atomi ali molekule razpršili. Hkrati so elektroni vezani blizu površine cilja pod delovanjem magnetnega polja, ki tvorijo plazmo z visoko gostoto, ki poveča hitrost brizganja. Razpršeni ciljni atomi ali molekule se odlagajo na podlagi, da tvorijo film. Magnetron Sputter prevlečni stroj se lahko široko uporablja v mikroelektroniki, optoelektroniki, nanotehnologiji, novih materialih in drugih področjih, kar zagotavlja učinkovito in okolju prijazno metodo priprave filma za sodobno industrijo in znanstvene raziskave.

Magnetron Sputter Coating Machine ima edinstveno jedro tehnologijo z naslednjimi prednosti:

1. hitrost odlaganja. Magnetron brizgalni stroj lahko pridobi velik ionski pretok zaradi uporabe hitrih magnetronskih elektrode, ki učinkovito izboljša hitrost odlaganja in hitrost brizganja med postopkom nanosa.

2, visoka učinkovitost moči. Magnetron brizgalni stroj na splošno izbere ustrezno napetost, da se zagotovi, da je oprema ravno znotraj najvišjega učinkovitega območja učinkovitosti moči.

3. Energija nizke brizganja. Uporaba nizke napetosti lahko prepreči, da bi se višje energijske nabiti delci pojavili na podlagi in se izognili deformaciji substrata izdelka.

4. sestavljen ciljni material. Modularni univerzalni vmesnik, neposredno združljiv z različnimi oblikami katodnih tarč, ki omogoča DC impulz, če, RF delovni način; Močna združljivost;

Široka paleta aplikacij. Obstaja veliko elementov, ki jih je mogoče odložiti z magnetronskim strojem za brizganje, pogosti so: CU, AU, CR, NI, TA, TIN, TIC, TICN, TIALN, CRN in drugih kovinskih, nedetalnih in keramičnih oksidov in sestavljenih filmov;