Plazma izboljšana oprema tankega filma

Plazemska oprema, ki je izboljšana s tankim filmom, je tehnologija čiste ionske prevleke (čisti ionski žarek), visokoenergijska tehnologija čiščenja ionskega žarka (Ionbeam), tehnologija magnetronskega brizganja (Sputter) in magnetna zaprta hlapa (magnetna omejitev CVD) so štiri tehnologije v eni, kar je popolna fuzija PVD tehnologije in CVD tehnologije.

Plazemska izboljšana oprema tankega filma ponuja bolj prilagodljivo kombinacijo procesov za zadovoljevanje različnih zapletenih potreb izdelkov, njegov močan hibridni postopek pa ponuja več možnosti za oblikovalce procesov.

Kratek uvod v opreme funkcije opreme za plazmo.

(1) čisti ionski prevlečni vir z uporabo učinkovitega elektromagnetnega filtracijskega sistema, učinkovito odstrani delce, pridobite ionski žarek z večjo čistostjo, pomagajo izboljšati trdoto in vezavno silo prevleke;

(2) vir čiščenja z visoko energijskim ionskim žarkom z uporabo posebej zasnovane strukture praznjenja, učinkovito združljivo z aktivacijo čiščenja v plazmi, pomožnim ionizacijo, neodvisnim odlaganjem in drugimi funkcijami;

(3) vir brizganja magnetrona z inovativnim oblikovanjem magnetnega polja učinkovito izboljšuje ciljno stopnjo uporabe več kot 30%;

(4) Vir magnetno omejenega nalaganja hlapov, zanesljiv in enostaven za vzdrževanje strukture, lahko doseže hitro in fino nanašanje premaza.

Tipične vrste prevleke:

(1) ME-TAC, kovinski tac kompozitni premaz, široko uporabljen

(2) ME-DLC, kovinska kompozitna prevleka DLC, široko uporabljena

(3) ME-TAC-DLC, TAC-DLC kompozitni premazi, ob pridobivanju večje osnovne trdote in vezave TAC imajo hitrost nanašanja in fino pojav DLC.

Express Plazma, izboljšana oprema tankega filma, lahko spozna kombinacijo TAC-DLC, ki močno izboljša silo vezave v primerjavi s preprostim CVD, hkrati pa zmanjša velikost delcev PVD-ja in skrajša čas procesa.

Express Plazma, izboljšana oprema tankega filma, lahko doseže različne procese C nalaganje filma, čisti ionski tac, magnetni izpust DLC, anodni plašč ionskega vira DLC itd.

Express plazemska oprema, ki je izboljšana s tanko filmsko opremo, je opremljena z elektromagnetno skeniranje napravo in programsko opremo, ki lahko nadzira smer snopa plazme v fiksni točki in času, kar močno izboljša problem enakomernosti prevleke in enakomernost celotne plasti filma o peči je nadzorovana pod ± 5%; Express Optimizirana zasnova magnetnega polja in hladilno zasnovo, enostavno vzdrževanje, dobra stabilnost opreme;

Express Friendly Man-Machine vmesnik, v realnem času beleženje podatkov procesnih podatkov, ki pripomore k nadzoru kakovosti, težko analizo, razvoj novih procesov;

Express Ta projekt je oprema na ključ, podjetje Pure Source ponuja popolno rešitev, vključno s stabilno formulo zrele prevleke.