Ta sistem za izhlapevanje s katodnim oblokom uparja trdne katodne tarče z nizko-napetostjo in visokim-tokovnim električnim oblokom, da ustvari popolnoma ionizirano kovinsko plazmo. V primerjavi s standardnim termičnim izhlapevanjem ali magnetronskim naprševanjem ta postopek PVD zagotavlja večjo gostoto plazme in boljši oprijem filma-na-podlago, prilagojen za funkcionalne,-odporne na obrabo in dekorativne trde premaze.
Tehnične specifikacije
|
Parameter |
Razpon specifikacije / vrednost |
|
Dimenzije komore |
Cilindrične/škatlaste konfiguracije po meri (standard: Φ600 mm x 600 mm do 1200 mm x 1200 mm) |
|
Končni vakuumski tlak |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and rotary vane/roots pump suite) |
|
Čas-izklopa črpalke |
Atmosferski do 8,0 x 10^-3 Pa v<= 15 minutes (Dry, clean, empty chamber) |
|
Napajalniki Arc |
Impulzni in enosmerni generatorji (izhod: 0 - 200nastavljiv, valovit<= 1%) |
|
Katodni viri |
2 do 6 magnetno{2}}filtriranih ali standardnih krožnih/pravokotnih virov krmilnega obloka |
|
Prednapetost substrata |
0 - -1000V DC/pulzna prednapetost (frekvenca: 10 - 100 kHz) |
|
Vrtenje substrata |
Planetarni ali eno-osni rotacijski mehanizem (1 - 15 RPM) z vodnimi/električnimi prehodi |
|
Operativni nadzor |
PLC + industrijski osebni računalnik z avtomatiziranim izvajanjem receptov in ročnim preglasitvijo zaklepanja |
Ključne značilnosti
Magnetno filtrirani viri:Notranji magnetni kanali odbijajo neionizirane mikrokapljice stran od toka pare, kar zagotavlja nizko površinsko hrapavost (Ra) za natančne dele.
Nadzor pristranskosti zaprte-zanke: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10 um).
Visoka stopnja ionizacije:Učinkovitost plazemske ionizacije doseže 40 % - 80 %, spodbuja gosto kemično vez brez zunanje radiofrekvenčne pomoči.
Modularna zasnova komore:Izdelano iz nerjavečega jekla 304/316L z elektro-poliranimi notranjimi površinami (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.
Konfiguracija vakuumskega sistema
Roughing & Roots črpalke:Dvo{0}}stopenjske črpalke z rotacijskimi lopaticami, povezane z mehanskimi pospeševalnimi puhali, obvladujejo začetno grobo obdelavo in visoke obremenitve s plinom med reaktivnim vbrizgavanjem N2 ali C2H2.
Visoko vakuumske črpalke:Turbo{0}}molekularne črpalke z magnetno levitacijo (1200 - 3200 L/s) vzdržujejo visoke hitrosti črpanja preostale vodne pare in lahkih plinov.
Ventili in meritve:Pnevmatski zaporni ventili, visoko{0}}vakuumske tesnilne prirobnice ISO/CF in kombinirani Pirani/vro{1}}katodni ionizacijski merilniki, integrirani neposredno v blokirno zanko PLC.
Združljivost materialov in podlage
Združljive katodne tarče
Čiste kovine:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W
Zlitine in spojine:TiAl, CrAl, TiSi, WC, grafitne tarče za nanašanje diamantu-ogljika (DLC)
Substratni materiali
Trde kovine in karbidi:Cementni karbidi (WC-Co), hitro-rezno jeklo (HSS), rezalne ploščice iz nerjavečega jekla
Polprevodniki in keramika:Silicijeve rezine, aluminijev oksid (Al2O3), inženirska tehnična keramika
Aplikacije
Rezalna orodja in matrice:Nanašanje TiN, TiAlN in CrN na svedre, čelne rezkare in matrice za vtiskovanje za povečanje trdote površine na 2500 - 3500 HV in zmanjšanje trenja.
Avtomobilske komponente:Plasti-odporne na obrabo in z nizkim{1}}trenjem na batnih obročkih, injektorskih zatičih in zobeh zobnikov.
Dekorativni trdi premazi:PVD barvni premazi (zlato, rožnato zlato, bronasta kovina, črni titan) za strojno opremo in ohišja zabavne elektronike.
Funkcionalni tanki filmi:Prevodne in pregradne plasti za mikroelektroniko in polprevodniško embalažo.
Prilagajanje
Velikost komore:Različice obsega, ki se ujemajo s specifičnimi geometrijami serije in proizvodnimi odtisi.
Hibridizacija vira:Več{0}}katodne integracije, ki združujejo vire katodnega obloka z neuravnoteženimi katodami za magnetronsko razprševanje (UBMS) za gradientne več{1}}plastne filme.
Pritrditev podlage:Planetarne šablone po meri, lokalizirani ogrevalni nizi do 600 stopinj in prilagojeni dovajalci moči.
Integracija programske opreme:Logika receptov PLC po meri, beleženje podatkov SCADA in konfiguracije industrijske skladnosti.
Kontrola kakovosti
Odkrivanje puščanja:Testiranje s helijevim masnim spektrometrom na vseh komorah in zvarih, kar zagotavlja skupno stopnjo puščanja<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.
Inšpekcija električne varnosti:Preskušanje dielektrične odpornosti- z visokim potencialom, preverjanje kontinuitete ozemljitve in preverjanje odziva zaklepanja pred zaboji.
Sledljivost materiala:Poročila o preskusih materialov (MTR) za strukturno nerjavno jeklo, vakuumska tesnila in visoko{0}}napetostne izolacijske komponente.
Pre-Poskusna vožnja pred odpremo:72--urni neprekinjeni preskus suhega delovanja črpalnega sklopa, rotacijskih pogonov in napajalnikov v simuliranih ciklih.
Namestitev in tehnična podpora
Vodnik za pripravo mesta:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>15 m^3/h pri 20 - 25 stopinjah), odsesavanje izpušnih plinov in električni padci (380V/480V, 3-fazni, 50/60Hz).
Zagon in prevzem:Tovarniško sprejemno testiranje (FAT) v našem obratu; Sprejemno testiranje na lokaciji (SAT) in predaja postopka, ki so jo na-lokaciji izvedli domači inženirji.
Podpora za življenjski cikel:Varna oddaljena diagnostika VPN, zaloga inventarja rezervnih delov (tarče, ščiti, tesnila) in usposabljanje lokalnih tehnikov za vzdrževanje.
pogosta vprašanja
V: Kako sistem zmanjša nastajanje kapljic (makrodelcev), ki je neločljivo povezano z izhlapevanjem obloka?
O: Sistem uporablja magnetno filtrirane vire katodnega obloka (magnetno krmiljenje in kanalsko filtriranje). To upogne plazemski tok, medtem ko ujame mikrokapljice na notranjih pregradah, kar daje gladko morfologijo filma-brez kapljic.
V: Kakšno je temperaturno območje podlage med nanašanjem in kako se upravlja s toploto?
O: Delovne temperature segajo od 150 stopinj do 500 stopinj. Vgrajeni sevalni grelniki in kanali za-vodno{4}}hlajenje z zaprto zanko znotraj nosilca substrata preprečujejo toplotno popačenje občutljivih komponent.
V: Ali lahko oprema neprekinjeno izvaja avtomatizirane proizvodne cikle?
O: Da. Arhitektura PLC avtomatizira-črpanje, kondicioniranje tarče, vžig obloka, nadzor reaktivnega plina prek krmilnikov masnega pretoka (MFC) in zaporedja odzračevanja v več-serijskih postopkih.
V: Katere pripomočke morajo biti pripravljene na -gradišču pred dostavo?
O: Zahteve vključujejo stabilno oskrbo z ohlajeno vodo, stisnjen zrak (0.6 - 0.8 MPa) za pnevmatske ventile, dovod električne energije, ki ustreza obremenitvi sistema (60 - 120 kVA), in regulirane procesne plinovode (argon, dušik, acetilen).
Priljubljena oznake: tankoslojna oprema za obločno izparevanje, Kitajska tankoslojna oprema za izparevanje oblokov, proizvajalci, dobavitelji, tovarna
