Pregled izdelka
Industrijska oprema za ionsko nanašanje z več obloki, izdelana za nanašanje trdih premazov, funkcionalnih filmov in dekorativnih PVD zaključkov na precizne komponente. Z visoko{2}}tokovno in nizko{3}}napetostno vakuumsko obločno razelektritvijo sistem neposredno uparja trdne tarčne materiale (Ti, Cr, Al, Zr). V kombinaciji z reaktivnimi plini (N2, O2, C2H2) sintetizira goste nitride prehodnih kovin, karbide in okside neposredno na kovinske podlage.
Zgrajena na modularni arhitekturi vakuumske komore, ta rešitev PVD na ključ ustreza različnim obsegom proizvodnje-od serijske obdelave raziskav in razvoja do avtomatizirane,-zmogljive proizvodnje v liniji. Sistem je optimiziran za visoko ciljno izkoriščenost in nizke skupne stroške lastništva (TCO) v neprekinjenih industrijskih okoljih 24/7.
-
![Več{0}}oprema za vakuumsko nanašanje z več obloki]()
Več{0}}oprema za vakuumsko nanašanje z več oblokiTa več-obločni vakuumski sistem nanašanja uporablja tehnologijo katodnega obločnega ionskega nanašanja za nanašanje gostih trdih premazov z visoko-adhezijo na kovinske in ne-kovinske podlage. Z...Prikaži več -
![Multi{0}}Arc Ion Deposition System]()
Multi{0}}Arc Ion Deposition SystemThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >80-odstotna ionizacija trdnega...Prikaži več -
![Multi{0}}Arc PVD tankoslojna oprema]()
Multi{0}}Arc PVD tankoslojna opremaSistem Industrial Multi{0}}Arc PVD uporablja visoko{1}}ionizacijsko fizično parno nanašanje s katodnim oblokom za nanašanje gostih stehiometričnih trdih premazov (kot so TiN, TiAlN, CrN in DLC) na...Prikaži več -
![Oprema za ionsko nanašanje z več-obloki]()
Oprema za ionsko nanašanje z več-oblokiSistem industrijskega več-oločnega ionskega nanašanja ustvarja goste tanke filme z visoko-oprijemljivostjo z visoko{2}}tokom in nizko-napetostnim katodnim oblokom. Trdni tarčni materiali (katode)...Prikaži več -
![Multi{0}}Arc Ion Thin Film System]()
Multi{0}}Arc Ion Thin Film SystemIndustrijski več{0}}oločni ionski tankoslojni sistem uporablja izhlapevanje s katodnim oblokom za nanos gostih keramičnih in kovinskih prevlek z visoko-adhezijo na kovinske in zlitine podlage. Z...Prikaži več -
![Multi{0}}Arc Ion Thin Film Oprema]()
Multi{0}}Arc Ion Thin Film OpremaTa več-obločni sistem ionske prevleke uporablja izhlapevanje katodnega obloka za nanašanje gostih, visoko-oprijemljivih trdih premazov in funkcionalnih tankih filmov. Z udarcem visoko-toka in...Prikaži več
Tehnične specifikacije
|
Parameter |
Razpon specifikacij |
Enota / Opomba |
|
Dimenzije komore |
F600 x 600 do F1500 x 1800 |
mm (navpične ali vodoravne konfiguracije po meri) |
|
Končni vakuumski tlak |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (suha črpalka + turbo-molekularni / set za difuzijo olja) |
|
Viri katodnih oblokov |
4 do 16 enot |
Elektromagnetni krmiljeni ali filtrirani viri oblokov (FCA) |
|
Moč pristranskosti substrata |
0 do -1000 |
V (napredne impulzne zmožnosti prednapetosti DC/MF) |
|
Temperatura ogrevanja |
Sobna temperatura do 600 |
C (PID krmiljeni sevalni grelniki) |
|
Enakomernost nanašanja |
<= +/- 5% |
Merjeno z XRF na celotnem delovnem območju |
|
Nadzorni sistem |
PLC + industrijski računalnik |
Avtomatizirano izvajanje receptov, beleženje podatkov SCADA |
|
Varnost in skladnost |
CE, ISO 9001 |
Električna ohišja, skladna z UL-, so na voljo na zahtevo |
Zaporedje fizičnega naparjevanja deluje v strogem avtomatiziranem delovnem toku z zaprto-zanko, da se zagotovi ponovljivost od--serije do serije:
Evakuacija in izpust plinov:
Vakuumska komora se načrpa na osnovni tlak<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Plazemsko jedkanje (bombardiranje):
Uveden je plin argon. Na držalo substrata se uporabi visoka negativna prednapetost, ki ustvarja ione Ar, ki bombardirajo površino, da razpršijo naravne okside in mikro-onesnaževalce.
Obločno izhlapevanje in ionizacija:
Enosmerni obločni tok zadene trdno kovinsko katodo. Lokalna katodna pega doseže izjemno energijsko gostoto in takoj upari ciljni material v tok plazme z visoko-gostoto (stopnja ionizacije > 80 %).
Reaktivno odlaganje:
Reaktivni plini se vbrizgajo v tok plazme pri natančno nadzorovanih parcialnih tlakih prek krmilnikov masnega pretoka (MFC), pri čemer na vrtečih se substratih tvorijo stehiometrične sestavljene filme.
Hlajenje in prezračevanje:
Nadzorovano hlajenje poteka pod zaščito inertnega plina pred odzračevanjem komore, kar preprečuje oksidacijo sveže prevlečenih delov.
Filmski materiali in lastnosti premazov
Sistem podpira razporeditve več-kovinskih katod, kar omogoča enoplastne, večplastne, nano-kompozitne in gradientne filmske arhitekture:
TiN (titanov nitrid):
Standardni zlati premaz; trdota 2200–2400 HV; koeficient trenja 0,4. Primarna uporaba: splošna rezalna orodja in mehanski obrabni deli.
TiAlN (titanov aluminijev nitrid):
Odpornost na visoko-temperaturno oksidacijo do 850 C; trdota 3000–3300 HV. Primarna uporaba: visoko{5}}hitrostni vložki za suho obdelavo in ventili motorja.
CrN / CrAlN (kromov nitrid):
Odlična odpornost proti koroziji in nizka notranja napetost; lastnosti proti -sprijemanju -neželeznih kovin. Primarna uporaba: oblikovanje kalupov, batnih obročkov in komponent tekstilnih strojev.
ZrN/TiCN:
Nizka površinska hrapavost (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Aplikacije
Orodja za natančno rezanje:
Čelni rezkarji, svedri, kuhalne plošče in menjalni vložki, ki zahtevajo podaljšano življenjsko dobo orodja pri visokih toplotnih obremenitvah.
01
Avtomobilski pogonski sklop:
Batni zatiči, nastavki za vbrizgavanje goriva in površine zobnikov, ki zahtevajo zmanjšano mejno trenje in odpornost proti praskam.
02
Kalupi in matrice:
Kalupi za brizganje plastike, matrice za žigosanje in vložki-za tlačno litje, ki zahtevajo odpornost na obrabo lepila in toplotno utrujenost.
03
Aerospace komponente:
Turbinske lopatice in titanovi pritrdilni elementi, ki delujejo v agresivnih korozivnih in visoko{0}}obremenjenih okoljih.
04
Prilagajanje in konfiguracija sistema
Standardni artikli kataloga se le redko popolnoma prilegajo namenskim tovarniškim tlorisom. Konfiguracije opreme so prilagojene glede na specifično geometrijo komponent, ciljne čase cikla in omejitve objekta:
Geometrija komore:
Osmerokotne ali cilindrične komore iz nerjavečega jekla (SUS304/SUS316L) z dvojnimi-stenskimi vodnimi-hladilnimi plašči.
Postavitev vira:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Pritrditev podlage:
Mehanizmi planetarne rotacije (3-osi) ali enorotacijski mehanizmi, ki jih poganjajo dovodi magnetne tekočine, ki zagotavljajo enakomerno pokritost s premazom na kompleksnih 3D geometrijah.
Možnosti črpalnega sklada:
Puhala Roots, črpalke z rotacijskimi lopaticami, kriogene črpalke ali turbomolekularne črpalke, ki so konfigurirane tako, da izpolnjujejo stroge čase cikla iz-črpanja.
Kontrola kakovosti in protokoli testiranja
Vsak stroj je pred odpremo podvržen strogemu tovarniškemu sprejemnemu testiranju (FAT), dokumentirano za pregled kupca:
01
Vakuumski preskus celovitosti:
Odkrivanje puščanja helija z uporabo masne spektrometrije (stopnja puščanja<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Električna varnost in izgorevanje-:
72-urno neprekinjeno suho delovanje napajalnikov, zapor za vodno hlajenje in avtomatizacijske logike PLC.
03
Preverjanje prevleke (-lastni laboratorij):
Vzorci so testirani s Calo-testom (debelina filma), Rockwellovo vdolbino (trdnost oprijema) in nanoindentacijo (trdota).
Namestitev, zagon in tehnična podpora
Navodila za pripravo mesta:
Na voljo so podrobne risbe razporeditve naprav za pretok/tlak hladilne vode, stisnjen zrak, izpušno prezračevanje in električne zbiralke.
SAT in zagon:
Namestitev na -gradišču (testiranje sprejemljivosti na mestu), vakuumsko kalibracijo in predajo osnovnega recepta, ki so jo izvedli višji procesni inženirji PVD.
Procesno usposabljanje:
Praktično-usposabljanje operaterjev, ki zajema urnike zamenjave katod, preventivno vakuumsko vzdrževanje, odpravljanje težav in osnovno optimizacijo receptov.
Podpora za rezervne dele:
Kritične obrabne komponente (katode, ščiti, izolatorji in tesnila) na zalogi za globalno odpremo v 48 urah.
Pogosto zastavljena vprašanja
Dobro-smo znani kot eden od vodilnih proizvajalcev in dobaviteljev tankoslojne opreme z več-obloki na Kitajskem. Če nameravate kupiti prilagojeno tankoplastno opremo z več-oločnimi ioni, izdelano na Kitajskem, vas prosimo, da dobite cenik naše tovarne. Za posvet o ceni nas kontaktirajte.
