Multi{0}}Arc Ion Thin Film System

Industrijski več{0}}oločni ionski tankoslojni sistem uporablja izhlapevanje s katodnim oblokom za nanos gostih keramičnih in kovinskih prevlek z visoko-adhezijo na kovinske in zlitine podlage. Z uparjanjem trdnih katodnih materialov v vakuumskem okolju prek visoko{3}}tokovnih in nizko{4}}napetostnih električnih oblokov sistem ionizira kovinske hlape, ki medsebojno delujejo z reaktivnimi plini (kot so dušik, acetilen ali kisik), da tvorijo stehiometrične spojine.

Ta platforma je zasnovana za neprekinjena proizvodna okolja in vključuje namensko orodje za serijsko obdelavo natančnih rezalnih orodij, avtomobilskih komponent in -obrabno odporne industrijske strojne opreme.

Magnetne-katode krmilnega obloka:Magnetna-zančna polja z zaprto zanko vodijo tir pike katodnega obloka po površini tarče, s čimer povečajo stopnjo izkoriščenosti tarče na več kot 60 % in zmanjšajo nastajanje makro{2}}kapljic.

Pristranskost hitrega zatiranja obloka:Visoko-frekvenčni impulzni prednapetostni napajalniki vključujejo vezja za hitro{1}}gašenje oblokov, ki preprečujejo, da bi lokalizirani mikro-loki poškodovali površine podlage med reaktivnim nanašanjem.

Arhitektura nanašanja z dvojnim-načinom:Arhitektura sistema podpira hitro integracijo katod za neuravnoteženo magnetronsko razprševanje (UMS) skupaj s standardnimi viri oblokov za nanašanje hibridnih plasti (npr. gradientne plasti).

Avtomatiziran nadzor procesa:PLC v kombinaciji s programsko opremo za nadzor-na osnovi industrijskega osebnega računalnika, tlakom v snemalni komori, masnim pretokom plina (MFC), pristranskostjo substrata in obločnim tokom v realnem času za sledljivost serije.

Pnevmatski vakuumski ventili:Pnevmatsko aktivirani zaporni ventili in kotni ventili izolirajo dele komore, s čimer zmanjšajo čas izpadov zaradi vzdrževanja in cikle iz-črpavanja.

Praznjenje sistema uporablja več-stopenjsko konfiguracijo, zasnovano za doseganje delovnega tlaka v 15 minutah:

Faza grobega obdelave:Dvo{0}}stopenjske mehanske črpalke z rotacijskimi lopaticami odstranijo primarni atmosferski zrak do 10 Pa.

Vmesna stopnja:Puhala Roots pospešijo volumetrično izpodrivanje, da premostijo območje prehodnega tlaka.

Stopnja visokega vakuuma:Oljne difuzijske črpalke ali kriogene/molekularne črpalke dosežejo končni osnovni tlak 5,0 x 10^-3 Pa pred polnjenjem s plinom in ionskim čiščenjem.

Podsistem za dostavo plina:Več-kanalni krmilniki masnega pretoka (MFC) merijo procesne pline visoke{1}}čistosti (Ar, N2, C2H2, O2) s toleranco stabilnosti pretoka +/- 1 % celotne skale.

Katodne tarče
Kovinske tarče:Ti, Cr, Al, Zr, TiAl (50/50, 67/33 atomska razmerja), WC, nerjaveče jeklo.

Standard čistosti:>= 99.99 % vakuumsko staljeno in valjano.

Substratni materiali
Orodna jekla:H13, SKD11, M2, D2 (pred-obdelano in kaljeno pod temperaturo nanašanja prevleke).

Karbidi:Cementirani volframov karbidi (WC-Co).

Inženirske zlitine:Titanove zlitine (TC4), nerjavno jeklo (304/316) in bakrove zlitine (odvisno od vpenjala).

Orodja za natančno rezanje:Nanašanje prevlek TiAlN in AlCrN na čelne rezkare in kuhalne plošče iz cementiranega volframovega karbida doseže površinsko trdoto 3300 - 3500 HV. Podatki o validaciji na terenu kažejo 2,5-kratno podaljšanje življenjske dobe orodja pri visoko-hitrostnih pogojih suhe obdelave.

Kalupi in matrice:Površinsko utrjevanje kalupov za brizganje plastike H13 in SKD11 ter matric za žigosanje za preprečevanje toplotne utrujenosti, obrabe zaradi lepila in trganja.

Avtomobilske komponente:Premazi DLC (Diamond-Like Carbon) in CrN, odporni na -trenje,-na obrabo, naneseni na batne obročke, zatiče injektorjev goriva in dvigala ventilov za zmanjšanje koeficientov mejnega trenja pod 0,1.

Funkcionalna strojna oprema:Dekorativni, vendar trdo{0}}odporni zaključki (TiCN, ZrN) za industrijske sanitarne armature in mehanske-komponente višjega cenovnega razreda.

Inženirske konfiguracije se prilagajajo omejitvam objekta in geometriji komponent:

Geometrija komore:Konfiguracije vrat za navpično-nakladanje tipa jame ali vodoravna konfiguracija sprednjih-nakladalnih vrat.

Naprave za jigging:Planetarne, eno-rotacijske ali satelitske napeljave po meri, prilagojene zapletenim 3D geometrijam obdelovancev.

Izbira črpalnega sklada:Možnosti konfiguracije za sklope difuzije olja, turbomolekularne ali kriočrpalke, odvisno od standardov čistih prostorov in ciljnega časa izklopa-črpanja.

Integracija plina in električne energije:Električni transformatorji po meri za standarde regionalnega omrežja (npr. 480 V/60 Hz, 415 V/50 Hz) in integracija s centraliziranimi sistemi za čiščenje izpušnih plinov-na strani odjemalca.

Vsak sistem za nanašanje je pred odpremo podvržen strogemu preverjanju kakovosti:

Odkrivanje puščanja helija:Testiranje puščanja helija z masnim spektrometrom, izvedeno na vseh vakuumskih komorah in varilnih šivih (stopnja puščanja<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Preverjanje električne varnosti:Preskusi izolacijske upornosti, kontinuitete ozemljitve in-visokonapetostnega dielektričnega vzdržljivosti v skladu z električnimi standardi CE/IEC.

Funkcionalna suha vožnja:72-urno neprekinjeno suho kroženje mehanskih rotacijskih mehanizmov, pnevmatskih ventilov in zapornih senzorjev hladilne vode.

Preskus sprejemljivosti postopka:V proizvodnem obratu je bila izvedena vzorčna prevleka za preverjanje enakomernosti debeline filma, trdote in adhezije (preizkus prask / Rockwellova vdolbina).

Navodila za pripravo mesta:Izčrpna dokumentacija o postavitvi objekta s podrobnostmi o zahtevah glede talne obremenitve, lokacijah izpušnih kanalov, dimenzijah vodnega razdelilnika in električnih odvodnih točkah, dostavljena 4 tedne pred pošiljanjem.

Zagon:In-namestitev na kraju samem, vakuumsko kalibracijo in električno povezavo-izvedejo servisni inženirji na terenu.

Proces predaje recepta:Recepti za osnovne premaze (TiN, TiAlN), razviti, preizkušeni in preneseni med prevzemom v tovarni ali -zagonom na kraju samem.

Rezervni deli in diagnostika:Oddaljeni diagnostični modul, integriran v PLC za hitro odpravljanje težav, podprt z lokalno zalogo kritičnih tesnil, katodnih tarč in zaščitnih plošč.