Pregled izdelka
PVD Composite Thin Film Equipment je industrijska platforma za vakuumsko nanašanje, izdelana za nanašanje več-plastnih, zlitin in nanokompozitnih tankih filmov. Z integracijo magnetronskega razprševanja in virov katodnega obloka v eni sami vakuumski komori sistem omogoča natančen nadzor nad mikrostrukturo filma, preostalimi napetostmi in medfaznim oprijemom. Platforma, izdelana za neprekinjeno proizvodnjo ter napredne raziskave in razvoj, se prilagaja kovinskim, keramičnim in polimernim substratom s prilagodljivo geometrijo komor.
-
![PVD kompozitna oprema za vakuumsko nanašanje]()
PVD kompozitna oprema za vakuumsko nanašanjeTa industrijska PVD kompozitna platforma za vakuumsko nanašanje združuje več tehnik nanašanja v okolje z eno samo komoro za nanašanje enotnih, več{0}}plastnih kovinskih, zlitin ali dielektričnih...Prikaži več -
![Hibridni sistem nanašanja tankega filma PVD]()
Hibridni sistem nanašanja tankega filma PVDHibridni tankoslojni sistem za nanašanje PVD združuje toplotno izhlapevanje, izhlapevanje z elektronskim žarkom (e-žarek) in RF/DC magnetronsko razprševanje v eni sami vakuumski arhitekturi. Ta...Prikaži več -
![PVD multi{0}}procesna tankoslojna oprema]()
PVD multi{0}}procesna tankoslojna opremaPVD Multi{0}}Process Thin Film Equipment je integrirana platforma za vakuumsko nanašanje, zasnovana tako, da združuje več tehnik izdelave tankih-filmov – vključno z RF/DC magnetronskim...Prikaži več -
![PVD oprema za nanašanje kompozitov]()
PVD oprema za nanašanje kompozitovOprema za industrijsko nanašanje kompozitov PVD je zasnovana za izdelavo več-komponentnih, več-plastnih in nano-kompozitnih tankih{3}}slojev. Sistem združuje vire toplotnega izhlapevanja,...Prikaži več -
![PVD kompozitni tankoslojni sistem]()
PVD kompozitni tankoslojni sistemVakuumski sistem-za nanašanje industrijskih premazov, ki vključuje magnetronsko razprševanje (RF/DC/HiPIMS) in izhlapevanje s katodnim oblokom. Zasnovan za neprekinjeno, več{2}}plastno nanašanje,...Prikaži več -
![PVD kompozitna tankoslojna oprema]()
PVD kompozitna tankoslojna opremaPVD Composite Thin Film Equipment je industrijska vakuumska platforma, zasnovana za sintezo več-plastnih, zlitin in razvrščenih tankih filmov. Zgrajen na modularni arhitekturi iz nerjavečega jekla...Prikaži več
Tehnične specifikacije
|
Parameter |
Razpon specifikacij |
|
Končni vakuumski tlak |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite) |
|
Delovni tlak |
0,1 Pa - 5.0 Pa |
|
Temperatura podlage |
Okolje do 800 stopinj (zaprta{1}}zanka PID krmiljena) |
|
Viri usedlin |
Nastavljivo: DC/RF magnetronsko razprševanje, pulzni DC, filtriran katodni oblok |
|
Enakomernost debeline |
< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier |
|
Material komore |
Nerjaveče jeklo 304L/316L, mehansko brušeno in elektro -polirano (Ra<= 0.4 um) |
|
Integracija napajanja |
MF generatorji (10-100 kHz), RF generatorji (13,56 MHz), impulzna enosmerna prednapetost |
|
Nadzorni sistem |
Industrijski PLC + IPC z avtomatiziranim izvajanjem receptov, nadzorom zaklepanja in beleženjem podatkov o serijah |
Postopek nanašanja kompozitov
Sistem uporablja arhitekturo hibridnega fizičnega nanašanja iz pare, ki združuje tehnologijo magnetronskega razprševanja in katodnega obloka.
Več{0}}Sinergija virov:
Hkratno ali zaporedno delovanje več katod omogoča nenadne ali stopnjevane kompozicijske prehode čez filmski sklad.
Pred-čiščenje z ionskim jedkanjem:
Stopnje RF ali DC plazemskega čiščenja odstranijo naravne okside in površinske kontaminante pred nanašanjem, da povečajo oprijem-na-podlago.
Nadzor reaktivnega odlaganja:
Optična emisijska spektroskopija z zaprto{0}} zanko (OES) regulira vbrizgavanje reaktivnega plina (O2, N2, C2H2), da ohrani stabilno stehiometrijo spojin in prepreči zastrupitev tarče.
Nagib substrata:
Sinhronizirani impulzni prednapetostni napajalniki bombardirajo rastoči film z visoko{0}}energijskimi ioni, zgostijo mikrostrukturo in prilagodijo preostalo tlačno napetost.
Filmski materiali
Oprema podpira širok spekter ciljnih materialov za prilagojene funkcionalne zahteve:
Nitridi in karbidi prehodnih kovin:
TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN za odpornost proti obrabi in koroziji.
Nanokompozitni in večplastni sistemi:
TiSiN, AlTiSiN, kovinski/keramični nanoplasti za izjemno trdoto in visoko{0}}temperaturno toplotno stabilnost.
Prozorni prevodni oksidi (TCO):
ITO, AZO, IGZO za optoelektronske in fotovoltaične aplikacije.
Čiste kovine in zlitine:
Ti, Cr, Al, Cu, nerjaveče jeklo, NiCr za električne kontaktne in difuzijske pregradne plasti.
Aplikacije
Orodja za natančno rezanje:
Nanos super{0}}trdnih prevlek z nizkim-trenjem (npr. TiAlN) na ploščice iz karbidne trdine, svedre in čelna-rezkarja za podaljšanje življenjske dobe pri visokih toplotnih obremenitvah.
Avtomobilske komponente:
Folije za-zmanjšanje trenja in{1}}odporne proti obrabi na batnih obročkih, delih za vbrizgavanje goriva in sklopih zobnikov.
Optoelektronika in zasloni:
Prevodne oksidne plasti z nizko-upornostjo, visoko-prepustnostjo za plošče na dotik in substrate sončnih celic.
Medicinski pripomočki:
Biokompatibilni in{0}}odporni premazi na kirurških instrumentih in ortopedskih vsadkih.
Prilagajanje in konfiguracija sistema
Inženirske konfiguracije so prilagojene specifičnim omejitvam proizvodnega obrata in procesnim recepturam:
Velikost komore:
Možnosti cilindrične ali pravokotne komore, ki segajo od šaržnih sistemov za raziskave in razvoj (premer 500 mm) do velikih{1}}sistemov zapornih-proizvodnih obremenitev (1000 mm+).
01
Izbira črpalne zbirke:
Ujemanje koreninskih puhal, turbomolekularnih črpalk in kriogenih črpalk na podlagi zahtevanih časov izklopa-črpanja in profilov obremenitve s plinom.
02
Pritrditev podlage:
Stopnje planetarne rotacije po meri, 3-osna rotacija satelita ali moduli-roll-to-roll, zasnovani za kompleksne 3D-geometrije ali neprekinjene mreže.
03
Stopnja avtomatizacije:
Pol-avtomatizirane konfiguracije ročnega nalaganja ali popolnoma avtomatizirani sistemi za vakuumski prenos z robotskim ravnanjem s substratom.
04
Proizvodnja in nadzor kakovosti
Odkrivanje puščanja:
Vsaka vakuumska komora je podvržena testiranju puščanja s helijevim masnim spektrometrom do praga < 1 x 10^-10 Pa * m^3 / s.
Pregled zvara:
Stranski-vakuumski zvari so TIG varjeni, brušeni in polirani, čemur na zahtevo sledi rentgenski -inšpekcijski pregled ali pregled s penetrantom.
Električna in varnostna skladnost:
Nadzorne plošče, izdelane v skladu s standardi NFPA 79 ali CE/IEC, vključujejo strojne zapore za pretok vode, tlak plina in električno varnost.
Tovarniško sprejemno testiranje (FAT):
-Testiranje pred odpremo vključuje 72-urno neprekinjeno sušenje-ciklično delovanje, preverjanje delovanja vakuuma in preskusno nanašanje premaza z uporabo receptov, ki jih določi stranka.
Navodila za pripravo mesta:Obsežen dokument z zahtevami za objekt je zagotovil podrobne uporabniške vmesnike (pretok/tlak hladilne vode, električna obremenitev, stisnjen zrak, izpušni plini).
Zagon na-gradbišču:Inženirji storitve na terenu izvajajo mehansko poravnavo, vakuumske preglede puščanja, električne-veze in začetno kalibracijo.
Nastavitev recepta procesa:-Sodelovanje na mestu z metalurgi in procesnimi inženirji strank za zaklepanje parametrov ciljne debeline filma, napetosti in trdote.
Podpora za življenjski cikel:Vmesnik za oddaljeno diagnostiko, lokaliziran inventar rezervnih delov in programi načrtovanega preventivnega vzdrževanja.
pogosta vprašanja
Dobro-smo znani kot eden vodilnih proizvajalcev in dobaviteljev opreme za tankoslojne kompozite pvd na Kitajskem. Če nameravate kupiti prilagojeno opremo za tanko plast pvd kompozitov, izdelano na Kitajskem, vas prosimo, da dobite cenik naše tovarne. Za posvet o ceni nas kontaktirajte.
