Kitajska Obločna izhlapevalna tankoslojna oprema Proizvajalci Dobavitelji Tovarna

Pregled izdelka

Sistem industrijskega katodnega obloka za izhlapevanje je proizvodna platforma-za fizično naparjevanje (PVD), zasnovana za nanašanje-odpornih na obrabo, korozijo-in nizkega{3}}trenja. Z uporabo električnih oblokov z nizko-napetostjo in visokim{6}}tokom se trdne katodne tarče na katodni točki takoj uparijo in ionizirajo, kar ustvari visoko ionizirano kovinsko plazmo.

Ta sistem, zasnovan in izdelan v skladu s standardi vodenja kakovosti ISO 9001 in direktivami o skladnosti CE, je konfiguriran za-postopke premazovanja z visoko zmogljivostjo v sektorjih proizvodnje orodij, avtomobilskih komponent in industrijske strojne opreme. Standardne konfiguracije integrirajo postavitve več-katod z neodvisnim krmiljenjem magnetnega-polja, programabilnimi enosmernimi/impulznimi prednapetostnimi napajalniki in avtomatiziranim nadzorom vakuuma za ohranjanje dosledne stehiometrije filma in gostih mikrostruktur.

Tankoplastni sistem z izhlapevanjem obloka
Sistem tankoslojnega izparevanja z industrijskim katodnim oblokom je zasnovan za visoko{0}}hitrost nanašanja gostih, močno sprijetih kovinskih, zlitin in keramičnih prevlek. Sistem deluje prek...
Prikaži več
Oprema PVD za izhlapevanje obloka
Industrijski sistem PVD za izhlapevanje s katodnim oblokom uporablja električne obloke z nizko-napetostjo in visokim{1}}tokom za uparjanje trdnih katodnih tarč v vakuumskem okolju. Ta mehanizem...
Prikaži več
Vakuumski tankoplastni sistem
Industrijski vakuumski tankoplastni sistem uporablja izhlapevanje s katodnim oblokom za nanos gostih, zelo oprijemljivih kovinskih, zlitin in keramičnih tankih filmov. Visok-tok in...
Prikaži več
Tankoplastna oprema s katodnim oblokom
Sistem fizičnega naparjevanja (PVD), ki uporablja lokalizirane nizko-napetostne,-električne loke za uparjanje trdnih katodnih tarč v popolnoma ionizirano plazmo. Visoka stopnja ionizacije (40 %-80...
Prikaži več
Oprema za nanašanje z izhlapevanjem obloka
Platforma za industrijsko fizično naparjevanje (PVD), zasnovana za visoko-hitrost sinteze gostih,-odpornih proti obrabi in funkcionalnih trdih premazov. Vzdrževanje visoko{3}}tokovne,...
Prikaži več
Oprema za tankoplastno izhlapevanje z oblokom
Ta sistem za izhlapevanje s katodnim oblokom uparja trdne katodne tarče z nizko-napetostjo in visokim-tokovnim električnim oblokom, da ustvari popolnoma ionizirano kovinsko plazmo. V primerjavi s...
Prikaži več

Tehnične specifikacije

Parameter	Obseg specifikacij / standardna konfiguracija
Dimenzije komore	Premer: 800 mm - 1800 mm (prilagodljive navpične/vodoravne postavitve)
Material komore	Dvojno{0}}stensko nerjaveče jeklo SUS304 z notranjim vodnim{2}}hlajenjem
Končni vakuumski tlak	<= 5.0 x 10^-4 Pa (Achieved via roots blower and molecular/oil diffusion pump groups)
Konfiguracija katode	4 do 12 virov pravokotnega/krožnega loka z elektromagnetnim krmiljenjem
Napajalnik Arc	300A - 500Nastavljiv konstantni tok, valovitost<= 2%
Moč pristranskosti substrata	0 do -1000 V nastavljiva, impulzna prednapetostna frekvenca 10 kHz - 100 kHz
Ogrevalni sistem	Niz sevalnih grelnikov, največja enakomernost temperature 600 stopinj +/- 5 stopinj
Vrtenje obdelovanca	Planetarna ali dvoosna-rotacija, ki jo poganja dovod magnetne tekočine
Nadzorni sistem	PLC + industrijski osebni računalnik, avtomatsko krmiljenje zaporedja-na osnovi receptov
Zahteve za pripomočke	Hladilna voda: 0,25-0,35 MPa, 20-25 stopinj; Napajanje: 380V/480V, 3-fazno, 50/60 Hz

Postopek izparevanja obloka

Cikel nanašanja poteka pod strogim nadzorom postopka, da se zagotovi celovitost filma in oprijem vmesnika:

Evakuacija in izpust plinov:

Vakuumska komora se prečrpa na osnovni tlak. Substrati se segrejejo pod vakuumom, da odstranijo površinske hlapne snovi in preostalo vlago.

Plazemsko jedkanje (čiščenje):

Obstreljevanje s kovinskimi ioni (z uporabo titanovih ali kromovih ciljnih virov) očisti površino podlage na atomski ravni, odstrani naravne okside in aktivira vmesnik.

Reaktivno odlaganje:

Reaktivni plini (N2, CH4, O2) se vbrizgajo v komoro prek krmilnikov masnega pretoka (MFC), da reagirajo s kovinskim plazemskim tokom (npr. Ti, Cr, AlTi) in tvorijo sestavljene filme, kot so TiN, TiAlN ali CrN.

Hlajenje in prezračevanje:

Hlajenje po -odlaganju poteka v atmosferi zaščitnega inertnega plina pred odzračevanjem komore in prevzemom delov.

Filmski materiali in podlage

Podprte katodne tarče
Titan (Ti) in titanov aluminij (TiAl):Osnovni materiali za standardne TiN in visoko{0}}oksidacijsko-odporne TiAlN prevleke (odporen na oksidacijo do 900 stopinj).

Krom (Cr):Uporablja se za dekorativne zaključke in sloje-CrN/CrC, odporne proti koroziji.

Cirkonij (Zr) in titanov silicij (TiSi):Uporablja se za specializirane dekorativne in nanokompozitne filme-odporne na ekstremno obrabo.

Združljivi substratni materiali
Hitro{0}}rezno jeklo (HSS):Spiralni svedri, čelni rezkarji, kuhalne plošče in vijačnice.

Cementni karbidi (WC-Co):Izmenljive ploščice, povrtala in oblikovalne matrice.

Tehnična jekla in zlitine:Komponente avtomobilskih ventilov, zobniki, sanitarna oprema iz nerjavečega jekla in medicinski vsadki iz titana.

Aplikacije in vpliv na zmogljivost

Orodja za rezanje kovin:

Nanašanje prevlek TiAlN in AlCrN na ploščice iz karbidne trdine in končna rezkarja, podaljšanje življenjske dobe orodja za 200 % do 300 % in omogočanje suhe obdelave z visoko-hitrostjo.

Matrice za oblikovanje in žigosanje:

Nanos gostih premazov z nizkim-trenjem za zmanjšanje adhezivne obrabe, strganja in lepljenja obdelovanca med globokim vlekom, kar skrajša čas izpadov za do 40 %.

Avtomobilski pogonski sklop:

Obdelava batnih obročkov, zatičev za vbrizgavanje goriva in nastavkov za zmanjšanje koeficienta mejnega trenja na < 0,15 in preprečevanje obrabe zaradi prask.

Industrijska strojna oprema in sanitarna pipa:

Trde okrasne plasti PVD (TiN zlato, rožnato zlato, črni cirkonij), ki so opravile najmanj 500-urni preskus nevtralnega solnega razpršila (ASTM B117).

Prilagajanje in konfiguracija procesa

Postavitve opreme se merijo glede na obseg proizvodnje, geometrijo delov in tovarniški odtis:

Geometrija komore:

Navpične nakladalne strukture za težka orodja; vodoravne serijske konfiguracije za visoko{0}}zmogljivo nalaganje vpenjal.

Izvorna integracija:

Hibridne konfiguracije, ki združujejo vire katodnega obloka z neuravnoteženimi katodami za magnetronsko razprševanje (RMS) za nanašanje gladkih večplastnih arhitektur brez -kapljic.

Filtrirni sistemi:

Izbirni magnetni filtri za makro delce (filtri s krmiljenim oblokom), nameščeni na katodnih kanalih za odstranjevanje makro{0}}kapljic za optične ali ultra-gladke natančne funkcionalne premaze.

Vmesnik avtomatizacije:

Integracija-pripravljena za robotske nakladalne roke in avtomatizirano vodeno vozilo (AGV) za serijo.

Proizvodnja in nadzor kakovosti

Strukturna celovitost:Telesa komore so podvržena testiranju puščanja s helijevim masnim spektrometrom pri pragu občutljivosti<= 1 x 10^-9 Pa*m3/s prior to assembly.

Električna varnost in skladnost:Izdelan strogo v skladu s smernicami za električno varnost CE in IEC, vključuje popolno testiranje izolacije in varnostne zapore v sili.

Funkcionalno odtekanje (FAT):Each system undergoes a 72-hour continuous dry-run test and a full-process thermal deposition test in our factory. Coating thickness uniformity (+/- 5%) and adhesion (Scratch Tester critical load Lc >= 40 N / Rockwell vdolbina HF1-HF2) so pred pošiljanjem preverjeni na standardnih testnih kuponih.

Namestitev in tehnična podpora

Paket priprave mesta:

Obsežne risbe razporeditve naprav, ki podrobno opisujejo pretok hladilne vode, izpušno prezračevanje, nosilnost tal in specifikacije električnega padca, zagotovljene 4 tedne po-pogodbi.

Zagon na-gradbišču:

Tovarniški-certificirani procesni inženirji skrbijo za mehansko poravnavo, vakuumsko odkrivanje puščanja, električno integracijo in začetno nastavitev osnovnega recepta pri naročniku.

Postopek prenosa recepta:

Dobava vključuje standardne osnovne recepture (TiN, TiAlN, CrN) in operativno usposabljanje za notranje vzdrževalne in inženirske ekipe.

Podpora za oddaljeno diagnostiko:

Sistemi, opremljeni z varnimi prehodi industrijskega usmerjevalnika za oddaljeno odpravljanje težav s parametri in diagnostiko PLC logike.

pogosta vprašanja

V: Kako sistem nadzoruje nastajanje makrodelcev (kapljic), ki so del izhlapevanja obloka?

O: Oprema uporablja nastavljive tuljave za krmiljenje magnetnega polja za hitro premikanje točke katodnega obloka po ciljni površini, kar zmanjša čas zadrževanja in izmet kapljic. Za aplikacije, ki zahtevajo ultra-gladke zaključke, izbirni moduli s filtrom obloka magnetno odbijejo kovinsko plazmo stran od makrodelcev, preden dosežejo podlago.

V: Kakšna je tipična ciljna stopnja izkoriščenosti za standardno konfiguracijo katode?

O: Standardne okrogle in pravokotne katode dosegajo stopnjo izkoriščenosti ciljnega materiala od 40 % do 55 %, odvisno od profila magnetnega polja in debeline cilja. Zamenjava tarče je mehansko zavarovana s hitrimi-mehanizmi za vpenjanje, da se čim bolj zmanjšajo izpadi zaradi vzdrževanja.

V: Ali je mogoče to opremo integrirati v obstoječo avtomatizirano proizvodno linijo?

O: Da. Nadzorna arhitektura PLC podpira komunikacijske protokole SECS/GEM in standardno digitalno V/I usklajevanje za integracijo z avtomatiziranimi linijami za pred{1}}čiščenje in robotskimi nakladalnimi celicami.

V: Kakšen je standardni dobavni rok za konfiguracijo komore po meri?

O: Standardni vertikalni serijski sistemi zahtevajo 16 do 22 tednov od odobritve risbe do tovarniškega sprejemnega testiranja (FAT), odvisno od prilagojenih specifikacij črpalne skupine in ureditve napajanja.

Dobro-smo znani kot eden vodilnih proizvajalcev in dobaviteljev tankoslojne opreme za izparevanje oblokov na Kitajskem. Če boste kupili prilagojeno tankoslojno opremo za izhlapevanje obloka, izdelano na Kitajskem, vas prosimo, da dobite cenik naše tovarne. Za posvet o ceni nas kontaktirajte.