Serija EBE-V600 je platforma za fizično naparjevanje (PVD) v-industrijskem obsegu, zasnovana za natančno tanko{3}}prevleko optičnih komponent, polprevodniških naprav in naprednih materialov. Z usmerjanjem visoko-energijskega, magnetno fokusiranega elektronskega žarka na izvorne materiale znotraj vodno{6}}hlajenih lončkov sistem doseže hitre stopnje izhlapevanja, medtem ko ohranja toplotne obremenitve izolirane od sten komore.
Arhitektura vključuje več-žepne vire elektronov in dvojne mikrotehtnice iz kvarčnega kristala (QCM), ki zagotavljajo stehiometrično natančnost filma in dosleden nadzor debeline v več-slojnih dielektričnih ali kovinskih nizih.
Tehnične specifikacije
|
Tehnični parameter |
Vrednost specifikacije |
|
Geometrija komore in material |
valjasta posoda Φ600 mm x 600 mm; SS304 elektropolirana notranjost z zunanjimi hladilnimi vodnimi plašči |
|
Končni osnovni tlak |
<= 5.0 x 10^-5 Pa (achieved via 12-hour bake-out and high-vacuum pumping) |
|
Čas cikla-črpanja |
<= 15 minutes (From atmosphere to 1.0 x 10^-3 Pa) |
|
Moč elektronske puške |
6 kW do 12 kW več{2}}žepna konfiguracija z 270-stopinjskim odklonom žarka |
|
Zmogljivost ognjišča |
4 do 6 žepov (izmenljivi bakreni/grafitni lončki, prostornina od 15 do 40 cc na žep) |
|
Vrtenje stopnje substrata |
Planetarni ali direktni pogon s spremenljivo hitrostjo od 0 do 30 RPM |
|
Območje ogrevanja podlage |
Temperatura okolja do 600 stopinj preko niza halogenskih žarnic z zaprto{1}}zanko PID |
|
Spremljanje debeline |
Dvojni senzorji QCM s samodejnim povratnim nadzorom zaklopa |
Ključne značilnosti
270-stopinjska magnetna odklonska pištola E-:Loči volframov filament od neposrednih poti hlapov, preprečuje kratek-stik in podaljšuje življenjsko dobo med servisnimi intervali.
Digitalni nadzor pometanja:Programabilni rastrski vzorci enakomerno porazdelijo energijo elektronov po površini izhlapevanja, ublažijo nastajanje lukenj in prednostno izhlapevanje med nanašanjem zlitine.
Ločena vakuumska arhitektura:Cevi za grobo obdelavo in visoko{0}}vakuumske črpalne linije so strukturno izolirane od ogrodja glavne komore, da se prepreči prenos mehanskih vibracij med rastjo filma.
Varnostna matrika zaklepanja strojne opreme:Realno{0}}nadzor PLC pretoka hladilne vode, visoko{1}}napetostne povratne informacije, pnevmatskega tlaka in celovitosti vratnega tesnila.
Konfiguracija vakuumskega sistema
Vakuumski pod-krog je zasnovan za hitro kroženje in nizek osnovni tlak za čim manjšo vključitev ostankov plina (H2O, O2, N2) v rastočih filmih:
Visok{0}}vakuumska črpalka:Turbo{1}}molekularna črpalka s 1200 l/s, ki jo podpira dvo{2}}stopenjska črpalka z vrtljivimi lopaticami (ali konfiguracija črpalke s suhim spiralnim zagonom za skladnost s čistimi prostori).
Izolacijski ventil:Pnevmatsko aktiviran zaporni ventil z visoko-prevodnostjo, ki izolira komoro med delovanjem obremenitve.
Merjenje vakuuma:Kombinirani ionizacijski merilniki Pirani in s hladno katodo, ki pokrivajo neprekinjeno območje od atmosfere do 10^-6 Pa.
Filmski materiali in podlage
Združljivi viri izhlapevanja
Oksidi in dielektriki:SiO2, TiO2, Ta2O5, Al2O3, HfO2
Čiste kovine:Au, Ag, Al, Ti, Cr, Pt, Ni
Polprevodniki in prevodniki:Si, Ge, ITO (indijski kositrov oksid)
Aplikacije
Filtri za optične motnje:Visoko-in-nizko{1}}indeksno večplastno nanašanje-sklada za ozko-prepustne filtre in laserska zrcala.
Izdelava polprevodniških naprav:Tvorba ohmičnega kontakta, odlaganje oksida na vratih in kovinske zarodne plasti.
Raziskava OLED in zaslona:Nanašanje s tanko kovinsko katodo in preizkusi več{0}}plastne organske/anorganske pasivacije.
Trdi ognjevarni premazi:Zaščitni sloji,-odporni na obrabo, za mehanske in letalske komponente.
Prilagajanje
Razširitev komore:Povečane višine plovil ali pravokotne geometrije, prilagojene za integracijo orodij v gruče.
Izvorna integracija:Sočasni viri toplotnega izhlapevanja (uporovni čolni) v kombinaciji z elektronskimi žarkovnimi topovi.
Ionsko{0}}nanašanje (IAD):Integracija end-Hall-ovega ali Kaufmanovega ionskega vira za zgostitev filma in uravnavanje napetosti.
Arhitektura programske opreme:Programiranje receptov PLC/HMI, skladno z okviri za avtomatizacijo Siemens S7 ali Beckhoff.
Kontrola kakovosti
Testiranje puščanja helija z masnim spektrometrom:Vsak komorni zvar je pred integracijo preskušen na zavrnitveni prag < 1 x 10^-9 Pa·m3/s.
Električna skladnost:Preizkus-visokonapetostne dielektrične odpornosti in preverjanje neprekinjenosti ozemljitve v skladu s smernicami CE/UL.
Tovarniško sprejemno testiranje (FAT):72-urni neprekinjeni suhi-testni zagon, beleženje krivulj osnovnega tlaka, ponovljivost premikanja e-žarka in odzivni časi zaklepanja. Testna dokumentacija je priložena enoti.
Namestitev in tehnična podpora
Zagon spletnega mesta:Tovarni-potrjeni inženirji upravljajo mehansko poravnavo, preverjanje vakuumskega puščanja, nadzor priključkov na električno omrežje in začetne umeritve.
Tehnično usposabljanje:3-dnevno usposabljanje o protokolu delovanja in vzdrževanja na kraju samem, ki zajema zamenjavo filamentov, obnovo vakuumskega ventila in urejanje receptov.
Končni izdelki dokumentacije:Popolne tehnične mape, vključno s shemami P&ID, diagrami električnih napeljav, varnostnimi kopijami PLC in razčlenitvijo rezervnih delov.
Pogosto zastavljena vprašanja
V: Kakšna je življenjska doba volframovega filamenta e-pištole in kako se servisira?
O: Pod standardnim delovnim tlakom (<= 10^-4 Pa) and clean source materials, filament lifespan averages 30 to 50 operational hours. A quick-access vacuum flange allows cartridge exchange within 20 minutes without venting the entire manifold.
V: Kako sistem preprečuje pljuvanje med nanašanjem oksida?
O: Generator digitalnega pometanja porazdeli energijo elektronov po izračunani rastrski matriki na oksidni peleti. To odpravlja lokalno pregrevanje, preprečuje eksplozivno vrenje in zavira izmet mikro-kapljic.
V: Katera komunalna infrastruktura je obvezna na mestu namestitve?
A: Cooling Water: Supply pressure 0.25 MPa to 0.4 MPa, flow rate >= 30 L/min, temperatura od 18 do 25 stopinj.
Električno omrežje: 3-fazno, 380V ± 10%, 50/60 Hz (ali tovarniško konfigurirano v skladu z regionalnimi standardi).
Stisnjen zrak: 0,5 MPa do 0,7 MPa suh zrak za pogone pnevmatskih ventilov.
V: Ali je oddaljeni diagnostični dostop integriran v nadzorni sistem?
O: Da. Izolirana vrata Ethernet podpirajo varno povezavo VPN za oddaljeno pridobivanje dnevnika PLC in odpravljanje težav s programsko opremo s strani naše ekipe inženirjev.
Priljubljena oznake: tankoslojna oprema za izhlapevanje z elektronskim žarkom, proizvajalci, dobavitelji, tovarna opreme za tankoslojno izparevanje z elektronskim žarkom
