Sistem IBAE združuje elektronski-žarek ali termično izhlapevanje z integriranim širokim{1}}žarkovnim virom ionov. Hkratno ionsko obstreljevanje med rastjo filma prenaša kinetično energijo na kondenzacijske adatome, odpravlja stebričaste mikrostrukture in proizvaja tanke filme s skoraj -nasipno-gostoto z minimalnim spektralnim premikom,-ki ga povzroča vlaga.
Tehnične specifikacije
|
Parameter |
Specifikacija |
|
Osnovni tlak |
<= 5.0 x 10^(-5) Pa (achieved within 35 minutes) |
|
Delovni tlak |
1,0 x 10^(-1) do 1,0 x 10^(-2) Pa |
|
Vrsta ionskega vira |
Gridless End-Hall / Kaufmannov ionski vir |
|
Energija ionskega žarka |
50 eV do 1500 eV (stabilizirano z zaprto{2}}zanko) |
|
Gostota toka ionskega žarka |
0 do 2,5 mA/cm^2 |
|
Viri izhlapevanja |
Več{0}}žepna E-žarna puška (4 x 15 cc do 6 x 40 cc) / odporni čolni |
|
Držalo za substrat |
Planetarna rotacijska naprava z ogrevanjem do 300 stopinj C |
|
Enakomernost debeline |
<= plus/minus 0.5 percent over 400 mm diameter |
|
Nadzorni sistem |
Siemens S7-1500 PLC + Industrijski PC (Inficon Deposition Controller) |
Ključne značilnosti
Bombardiranje z dvojnim-načinom:Prenos kinetične energije zgosti filme pri nizkih temperaturah substrata, ščiti občutljivo optiko in polimerne substrate.
Ionska stabilizacija z zaprto{0}}zanko:Integrirani krmilniki masnega pretoka vzdržujejo stalen ionski tok skozi dolge proizvodne poteke, kar zagotavlja doslednost serije.
Modularna vakuumska komora:Struktura iz nerjavečega jekla 304L z elektro -polirano notranjostjo (Ra<= 0.2 um) and Conflat metal seals.
Samodejno zaporedje:Cikli črpanja, usedanja in odzračevanja,-ki jih upravlja PLC{1}}minimizirajo operativna odstopanja.
Konfiguracija vakuumskega sistema
Črpalke za grobo obdelavo:Suhe korenine in črpalke z lopaticami-brez olja.
Visokovakuumska črpalka:Magnetno levitirana turbomolekularna črpalka (1600 L/s).
Merilniki:Kombinirani kapacitivni manometri Pirani, hladno katoda in Baratron.
Ventil:Pnevmatski zaporni in kotni ventili s strojnimi varnostnimi zaporami.
Materiali za izhlapevanje in združljivost s podlago
Oksidi:SiO2, Ta2O5, TiO2, Nb2O5, Al2O3
Fluoridi:MgF2, LaF3
Kovine:Au, Ag, Al, Ti, Cr
Substrati:Staljeni silicijev dioksid, BK7, silicijeve rezine, germanij, cinkov selenid (ZnSe) in toplo-odporni poliimid.
Aplikacije
Natančna optika:Ozkopasovni prepustni filtri in premazi DWDM, ki zahtevajo stabilne središčne valovne dolžine.
Laserska optika:Reflektorji z visoko-poškodbo-praga in-antirefleksni premazi.
Polprevodniki in fotonika:Dielektrični zaščitni sloji, pasivizacija in optični valovod.
sončna energija:Transparent Conductive oxide (TCO) modifikacija vmesnika.
Prilagajanje
Velikost komore:Prilagodljivi premeri od 600 mm do 1200 mm.
Izvorna postavitev:Do tri e-žarke in več toplotnih virov na platformo.
Meroslovje-na mestu:Integracija širokopasovnega optičnega nadzora (BOM) ali kvarčne kristalne mikrotehtnice (QCM).
Avtomatizacija:Robotski vmesniki za nalaganje substrata, skladni s standardi SEMI.
Kontrola kakovosti
Odkrivanje puščanja:Testiranje s helijevim masnim spektrometrom na komoro (občutljivost<= 1 x 10^(-10) Pa*m^3/s).
Izvor komponent:Tier-1 industrijske blagovne znamke (Inficon, MKS, Edwards, Siemens).
Tovarniška sprejemljivost (FAT):72-urno neprekinjeno suho delovanje in preverjanje nanosa, ki meri lomni količnik in enakomernost pred odpremo.
Namestitev in tehnična podpora
Dokumentacija:Popoln angleški paket, vključno z električnimi shemami, diagrami P&ID in izvornimi kodami PLC.
Terenske storitve:Namestitev na ključ, kalibracija vakuuma in nastavitev receptov s strani inženirjev aplikacij.
Diagnostika na daljavo:Varen modul VPN za odpravljanje težav s programsko opremo in procesi.
pogosta vprašanja
V: Kako pomoč pri ionih spremeni lomni količnik oksida?
O: Energično obstreljevanje z ioni izžene ujete ostanke plinov in zgosti mikrostrukturo, pri čemer premakne lomni količnik filmov, kot sta Ta2O5 in TiO2, bližje vrednostim v razsutem stanju.
V: Kakšen je tipičen interval vzdrževanja za vir ionov?
O: Vzdrževalni intervali segajo od 150 do 300 ur obdelave, odvisno od procesnih plinov in delovne gostote moči.
V: Ali lahko ta sistem upravlja procese reaktivnega plina?
O: Da. Neodvisni krmilniki masnega pretoka vbrizgavajo reaktivne pline (O2, N2) neposredno v ionski vir in cone komore, povezane z varnostnimi tlačnimi stikali.
Priljubljena oznake: oprema za izhlapevanje s pomočjo ionskega žarka, proizvajalci, dobavitelji, tovarna opreme za izhlapevanje s pomočjo ionskega žarka
